用于四氯化硅洗净塔废气进口装置,设洗净塔和推渣杆,洗净塔左下侧连接以15‑30º倾斜方式插入的四氯化硅废气入口管,四氯化硅废气入口管外上层连接四氯化硅废气管、脉冲清洗装置、左端连接清理装置支管,清理装置支管连接支管盲板;打开四氯化硅四氯化硅废气管线入口阀门,95%以上四氯化硅废气密度比空气大而进入洗净塔进行中和;打开脉冲清洗装置阀门,以氮气对四氯化硅废气入口管进行吹扫,吹扫时间持续5秒,可将废气入口管的微量残留吹扫冲洗干净;如大量废气排入废气管道,或者脉冲清洗装置无法工作,作业人员可以用推渣杆进行手动清理;本技术的有益效果是:提高设备使用效率,降低对人身以及环境的危害。
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