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金刚线切割单晶硅废料在线制造高纯工业硅的方法

1076   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:26:56
本发明公开的一种金刚线切割单晶硅废料在线制造高纯工业硅的方法，首先，将金刚石线切割制备硅片过程中产生硅细粉收集到回收槽中，将回收槽中的硅细粉锯末料加水降温稀释后流入压滤机；其次，将压滤机中的含硅溶液进行脱水挤压后，送入造粒机进行造粒，经造粒后送入烘干机布料器，经过烘干后，得到外径为5mm～10mm，长度为10mm～25mm硅粒；最后，将步骤2得到的硅粒置于真空中频感应炉中进行熔炼得到高纯工业硅。本发明公开的方法，实现了边切割单晶硅，边收集硅废料，边提纯硅废料，实现了废物利用，缩短了工艺流程，使单晶硅切片企业的固废不出厂就可以回收利用，达到循环企业标准，并且产生了高的附加值。
声明：
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