本发明涉及一种废铝刻蚀液的回收利用方法,先采用减压蒸馏方法分离磷酸与其他组分,得到浓度90%以上的磷酸溶液与硝酸、醋酸混酸溶液。硝酸、醋酸混酸溶液通过精馏的方式分离酸和水时,硝酸、醋酸、水三者易形成共沸体系,水作为轻组分通过精馏后大部分集中于塔顶,硝酸、醋酸则留在塔釜。通过连续进料,塔顶采出轻组分水,塔釜混酸溶液浓度达到70%后连续采出,可以实现连续精馏操作。本发明所述工艺能够对含有多种酸的废铝刻蚀液进行回收利用,分别得到磷酸溶液和可用于新鲜铝刻蚀液配制的硝酸、醋酸混酸溶液,极大地减少了酸的消耗量和处理废酸产生的
固废,为铝刻蚀液的回收利用提供了一种新的方法。
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