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用于硅锭切片的支撑板及其制作方法

687   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:22:38
本申请公开了一种用于硅锭切片的支撑板及其制作方法，支撑板的组成材料包括ABS塑料和SAN塑料，ABS塑料的重量份数为50～100份，SAN塑料的重量份数为0～50份。本申请中的支撑板由热塑性的ABS塑料和SAN塑料制成，支撑板的抗拉强度与弯曲强度提高，减少切割过程中崩边的情况发生，良率提高，且可以降低金刚线的断线几率；在硅片切割过程中无需降低台速，缩短切割时间，提升切割效率且降低切割能耗；并且，不掺任何无机物，可以对切割完毕后的支撑板进行回收得到回料，回料可以制成支撑板的底面回料层，避免固废垃圾的产生，绿色环保，并且本申请中的支撑板的密度低于现有的支撑板密度，支撑板的质量更轻，易于回收操作。
声明：
“用于硅锭切片的支撑板及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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