本发明公开了一种制备二氧化硅气凝胶的方法及系统,该方法包括以下步骤:1)将
多晶硅生产尾气通入到水中进行水解,生成硅溶胶,其中,所述多晶硅生产尾气包括二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅;2)使用碱性溶液调节所述硅溶胶的pH值为碱性,进行凝胶化处理,生成硅凝胶;3)将所述硅凝胶进行溶剂替换,替换掉所述硅凝胶中的水;4)通过超临界二氧化碳干燥或低温冷冻干燥,得到二氧化硅气凝胶。该方法使用多晶硅生产尾气作为硅源制备出二氧化硅气凝胶,既对多晶硅生产尾气中的氯
硅烷进行回收综合利用,又简化了二氧化硅气凝胶制备流程,具有较好的经济效益,降低了原料成本,同时可以减少环境污染和
固废处理成本,提高企业的经济效益。
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