本发明公开了一种
多晶硅生产过程中副产物的再利用方法,以多晶硅副产物为原料,通过采用不同的
储能物质,制备不同温度的系列相变
储能材料,将气化的副产物在常温下与聚乙二醇水溶液中的水发生水解反应,溶胶-凝胶反应,生成氯化氢和三维网络结构的二氧化硅凝胶,包覆有相变储能材料的二氧化硅凝胶经旋风干燥器烘干后制得相变储能材料产品,氯化氢经盐酸溶液氯化钙提浓解析和四氯化硅淋洗塔除水,制得含水量小于0.05%的氯化氢,直接进入多晶硅生产系统用于制备三氯氢硅,与四氯化硅氢化技术配套使用,形成多晶硅生产物料的全闭路循环和副产物的全资源化,实现多晶硅生产的“
固废和废气”的趋零排放和清洁生产。
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我是此专利(论文)的发明人(作者)