一种用于净化磷化氢气体的装置,包括净化罐,进气管,出气管,电磁阀,磷化氢传感器和滤盒;所述净化罐的底部设有进气管;所述进气管的末端设有气体均布器;所述净化罐的顶部设有出气管;所述进气管和出气管上设有电磁阀;所述电磁阀与PLC控制器电连接;所述出气管下方设有磷化氢传感器;所述磷化氢传感器与PLC控制器连接;所述滤盒放置在净化罐内;所述滤盒内填充用于净化磷化氢气体的固体处理剂。该用于净化磷化氢气体的装置结构简单,使用方便,且其净化效率高达99%以上,无二次污染,不产生废液,对环境零污染。
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