发明提供一种生产氧化亚硅的方法和装置。本发明的方法主要是将含硅物质如/氧化硅、硅单质、含硅气体(液体)、不完全氧化的硅特别是金刚线硅切割废浆分离出的干燥成固体硅粉,通过进一步氧化(包括不完全氧化)、还原或添加二氧化硅达到接近生成氧化亚硅的理想配比,然后通过在有利于氧化亚硅溢出的条件下如高形成氧化亚硅气体,再将气体凝结成棒状、板状或颗粒状或粉状氧化亚硅。本申请一个实施例通过控制硅颗粒(Si)表面的氧化层(SiO2)来制备氧化亚硅前躯体,这可以是硅的氧化,也可以是过渡氧化的硅氧化合物的还原,可选择地,本申请的另一实施例中,利用含硅气体的不完全氧化直接生产氧化亚硅粉体。
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