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从晶片切割砂浆中分离出切割液、碳化硅和硅粉的方法

935   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:11:41
本发明公开了从晶片切割砂浆中分离出切割液、碳化硅和硅粉的方法，该方法工艺步骤包括：固液分离，用乙醇清洗分离出来的固体，再用纯水洗涤甩干，然后用激光粒度仪测定硅粉和碳化硅/金属混合物的粒度组成和分布状态，并用X射线衍射精密测定各组成部分的质量比，将测得的数据通过卧螺沉降离心机分选参数，由卧螺沉降离心机将砂粉初步分离成主要为碳化硅和铁粗粉、主要为碳化硅和硅的中粉和主要为硅的细粉，再将中粉加入电泳池，将电泳池上的电极加电，在电场作用下使碳化硅粉沉淀而硅粉上浮，再将沉淀后的碳化硅砂粉及粗粉进行碱洗和磁选除铁，然后水洗甩干。该工艺突破了现有废砂浆处理中超细颗粒的分离技术，并综合处理解决现有污染问题。
声明：
“从晶片切割砂浆中分离出切割液、碳化硅和硅粉的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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