本发明提供了一种电子级四氟甲烷的纯化方法,该方法为:将粗品四氟甲烷原料与甲醇‑
锌粉浆料在吸收塔中进行预反应,反应后得到混合气体,并排出固体废料;将混合气体通入脱轻塔中进行一级精馏,脱除轻组分杂质,得到脱轻后混合气体;将脱轻后混合气体通入脱重塔中进行二级精馏,脱除重组分杂质,得到电子级四氟甲烷。本发明通过粗品四氟甲烷与甲醇‑
锌粉浆料进行预反应,脱除氟化氢和三氟一氯甲烷等杂质,再经一级精馏和二级精馏分别脱除轻组分杂质和重组分杂质,最终得到电子级四氟甲烷。
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