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分离回收砂浆中砷化镓的方法

703   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 05:00:59
本发明公开了一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，涉及晶片制造技术领域。本发明的一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，所述方法是将废弃砂浆进行沉淀分离得到切削油和固体混合物，再将混合固体用混合酸液处理分离得到碳化硅和含镓溶液，最后将含镓溶液进行还原得到砷化镓固体。本发明公开了一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，利用砷化镓和氮化硅之间物理性质的差异进行分离回收，分离彻底，便于再次生产利用，能够有效降低生产成本。
声明：
“分离回收砂浆中砷化镓的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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