本实用新型公开了一种六氟化硫气体回收及提纯系统,它包括:净化处理设备,用于去除粗六氟化硫尾气中固体和/或水分和/或部分气体污染物,得到初步净化后的第一中间产物;与所述净化处理设备连接的冷却液化设备,用于对第一中间产物中的六氟化硫进行冷凝、液化,得到第二中间产物和第一次高浓度废气;与所述冷却液化设备连接的精馏纯化设备,用于对第二中间产物精馏纯化,得到高纯度的六氟化硫液体,同时使得第二中间产物中残留的杂质相变为气态,作为第二次高浓度废气排出;与所述精馏纯化设备连接的固化回收设备。本实用新型的一种六氟化硫气体回收及提纯系统,回收纯度高,能够减少液氮的消耗。
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