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六氟化硫气体回收及提纯系统

978   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 05:00:57
本实用新型公开了一种六氟化硫气体回收及提纯系统,它包括:净化处理设备,用于去除粗六氟化硫尾气中固体和/或水分和/或部分气体污染物,得到初步净化后的第一中间产物;与所述净化处理设备连接的冷却液化设备,用于对第一中间产物中的六氟化硫进行冷凝、液化,得到第二中间产物和第一次高浓度废气;与所述冷却液化设备连接的精馏纯化设备,用于对第二中间产物精馏纯化,得到高纯度的六氟化硫液体,同时使得第二中间产物中残留的杂质相变为气态,作为第二次高浓度废气排出;与所述精馏纯化设备连接的固化回收设备。本实用新型的一种六氟化硫气体回收及提纯系统,回收纯度高,能够减少液氮的消耗。
声明:
“六氟化硫气体回收及提纯系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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