本发明提供了一种氟化氢气体的除水装置及方法,能够达到5N级及5N以上级氟化氢对水分杂质的要求,易于实现工业化生产。本发明所述除水塔顶设置冷凝器将反应产物A夹带的氟化氢经冷凝回流至除水塔,减少物料损失和废气的产生;同时反应产物A经三废系统处理后产物可回收利用。本发明工艺简单,投资少,能耗小,易于实现工业化生产;所述氟化氢气体的除水方法利用五氟化氯与水反应的特性,除水效率高,除水更彻底并且不会引入其他难分离杂质,高效地将氟化氢气体的含水量降低至0.2×10
‑6及以下,有效解决了现有除水方法效率低,产量低,易生成难分离固体杂质的问题。
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