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利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备

601   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:59:35
一种利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备方法。该方法包括：根据应用场合的具体需求，设计声表面波器件版图，将待印刷的版图制成用于丝网印刷的掩膜板；采用导电银浆作为墨水，以抛光的压电材料基片作为基材，按照给墨、刮墨和收墨的顺序进行印刷；然后将印刷完毕的产品放入红外烤箱内，逐渐加热到130℃~150℃，并逐渐降温至室温，使得液体银墨水能够烧结为固体，并具有良好的导电性即可。本发明与传统微电子光刻工艺形成强烈对比的显著优势包括：1.生产设备的成本低；2.生产过程的工艺简便，成本也很低；3.制备过程中不产生废液和废气，更加环保；4.易于实现大规模生产。
声明：
“利用丝网印刷工艺实现低成本叉指换能器和反射栅的制备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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