本实用新型公开了一种处理缓冲氧化物刻蚀液的装置,其包括:反应釜、压滤机和综合调节池;其中,所述反应釜中包含有进料口、废气排放口和液固排放口;所述压滤机中包含有入口、固体排放口和液体排放口;所述综合调节池中包含有入口、第一出口、第二出口;所述反应釜的液固排放口与所述压滤机的入口相连;所述压滤机的液体排放口与所述综合调节池的入口相连。该装置可很好的处理BOE废液,且使得最终经过处理的BOE废液剩下的主要成分为水,可达到国家排放标准。
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