本发明的传感器元件具备:元件主体,其具有氧离子传导性的固体电解质层,在内部设置有供废气导入并流通的被测定气体流通部;调整用泵单元,其具有在元件主体的外侧的暴露于废气中的部分配设的被测定气体侧电极,用于对被测定气体流通部中的氧浓度调整室的氧浓度进行调整;测定电极,其配设于被测定气体流通部中在氧浓度调整室的下游侧设置的测定室;以及基准电极,其配设于元件主体的内部,作为废气中的氧化物气体浓度的检测基准的基准气体导入至该基准电极,被测定气体侧电极含有Pt和Au,利用X射线光电子分光法(XPS)测定所得的Au/(Pt+Au)比(=Au露出的部分的面积/Au及Pt露出的部分的面积)为0.2以上0.7以下。
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