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多晶硅生产中尾气处理系统的氯硅烷回收系统

678   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:56:57
本实用新型公开了一种多晶硅生产中尾气处理系统的氯硅烷回收系统，属于多晶硅生产领域，包括硅粉除尘器和硅粉收集罐，硅粉除尘器底部通过管道I连接的硅粉收集罐，管道I上设有阀门I，硅粉收集罐顶部通过废气管连接废气淋洗系统，废气管上安装有阀门II，废气管上还连接有气相返回管；另一端连接硅粉除尘器，气相返回管上设有阀门III，硅粉收集罐上连接有H2进料管线和N2进料管线，H2进料管线上设有阀门IV，N2进料管线上设有阀门V，硅粉除尘器还连接尾气回收系统，解决多晶硅生产中还原过程中，经过硅粉除尘器捕集后，向硅粉收集罐泄放过程中，气相中夹带硅粉较多，导致增加淋洗系统负荷，同时生成的固体物质容易堵塞管道的问题。
声明：
“多晶硅生产中尾气处理系统的氯硅烷回收系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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