本发明提供一种硅单晶金刚线切片用冷却液回收处理工艺,包括以下步骤:将废弃冷却液与吸附材料混合,进行诱导吸附;将混合后的废弃冷却液与吸附材料进行固液分离;将分离出的液体进行离子交换,得到再生冷却液;将分离出的固体与碱液混合,进行超细硅粉与吸附材料的脱附;将脱附后的固体进行筛分过滤,分离出超细硅粉和吸附材料;将分离出的超细硅粉压滤脱水,得到高纯度超细硅粉;将分离出的吸附材料与酸溶液混合,得到再生吸附材料。本发明的有益效果是回收工艺先进,可以回收高品质的冷却液,并回收高纯度的超细硅粉;运行成本降低,使用的吸附材料使用量少、可再生,总体运行成本为现有技术方法的1/3~1/5。
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