本发明涉及一种物料的回收方法,特别涉及一种线切割工艺中砂浆的回收方法。该线切割工艺中砂浆的回收方法,其特征是:包括如下步骤:旧砂浆通过物理旋流分离器分为固体流A和液体流B;固体流A通过分离装置分为轻滤渣C和重滤渣D,将重滤渣D过滤得到滤渣E,将滤渣E中加入酸溶液而后加水清洗,分离得到固体颗粒F;将固体颗粒F中加入氢氧化钠水溶液反应而后加水清洗,分离出固体颗粒烘干得到碳化硅;将碳化硅与液体流B搅拌均匀后回到线切割机上使用。因此,本发明的有益效果是,利用离心分离和化学清洗,将废砂浆中的杂质清除得到合格的碳化硅和切割液重新使用,很大程度地降低了硅片加工的成本,也避免了废砂浆对环境的污染。
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