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半导体化学机械抛光液回收处理装置

915   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:52:14
本实用新型公开了一种半导体化学机械抛光液回收处理装置，其通过过滤器过滤钨抛光废液泡沫和微米级的大颗粒，于重力分离罐内调整废液pH值以生成铁/钨氢氧化物胶体颗粒，并通过重力分离罐将废液中铁/钨氢氧化物胶体颗粒及剩余固体颗粒浓缩于重力分离罐的底部；而后，再将浓缩有固体颗粒的浓缩液通入固液分离器，在固液分离器中对浓缩液进行润洗稀释，以去除铁/钨氢氧化物胶体颗粒，稀释浓缩液中的铁、钨离子浓度，并保留分散性好的二氧化硅纳米颗粒；最后将稀释后的废液通入再生槽进行二次稀释和pH调整以得到再生抛光液，实现对含钨抛光废液的回收处理。
声明：
“半导体化学机械抛光液回收处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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