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用于MOCVD减排的方法和系统

908   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:52:11
一种用于从由大容量金属有机化学气相沉积(MOCVD)(120)操作产生的废气流中去除有毒废物的系统，包括：第一冷阱(130)，其配置成在第一压力操作并冷凝和分离废气流中的有毒物质，以作为固体废物被去除；泵(140)，其连接到第一冷阱(130)并配置成增加废气流的压力；热裂解器(150)，其连接到泵(140)并配置成分解在第一冷阱(130)后残留在废气流中的有毒物质；第二冷阱(160)，其连接到热裂解器(150)并配置成在高于第一压力的第二压力操作，并冷凝残留在废气流中的分解后的有毒物质，以作为固体废物被去除；和洗涤器(170)，其连接到第二冷阱(160)并配置成吸收在第二冷阱(160)后残留在废气流中的有毒物质。还公开一种用于从由大容量金属有机化学气相沉积(MOCVD)(120)操作产生的废气流中去除有毒废物的方法。
声明：
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