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提高三氯氢硅选择性的方法

962   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:51:18
本发明提供了一种提高三氯氢硅选择性的方法，步骤如下：(1)取工厂废硅粉，把废硅粉放入塑料烧杯中，倒入氢氟酸并进行搅拌，然后进行抽滤、洗涤，最后把滤饼放进真空烘箱中进行烘干；(2)称取步骤1中氢氟酸处理过的废硅粉，装入固定床反应器中，然后把固定床反应器放进管式炉中，通惰性气体进行加热；(3)固定床反应器内温度达到280℃时，通HCl气体开始反应，生成物即主产物三氯氢硅和副产物四氯化硅。本发明的优点在于：反应物之一为工业固体废弃物‑废硅粉，大大节约了成本，实现固废资源化。氢氟酸处理大大提高了产物三氯氢硅的选择性。
声明：
“提高三氯氢硅选择性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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