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线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统

870   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 04:48:57
本实用新型公开了一种线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统,其包括储液箱、线切机、切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器、RO水存储箱、切削液存储箱和回用液存储箱,储液箱的侧壁底部设置有溢流口,溢流口与切削液收集箱进液口通过出液管连通,切削液收集箱、压滤机、清液收集箱、精滤器和回用液存储箱依次连通;出液管为直管,出液管上连通有h形溢流管,溢流管的底端两侧管口分别与出液管垂直连通,溢流管的顶端管口处设置有滤网,溢流管两底端之间的出液管上设置有开关阀。本实用新型储液箱溢流口位于储液箱侧壁底部,使得废弃切削液自储液箱底部流出,利于储液箱内固相置换外排,防止储液箱内因固体累积过多导致储液箱出液口堵塞。
声明:
“线切机切割硅片后的废弃切削液的回收系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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