本发明公开了一种从线切割废砂浆中分离回收碳化硅和硅的方法,它是利用反应和泡沫分离相结合的方法对硅晶材料的加工过程中废砂浆中的硅和碳化硅进行分离回收的节能环保的绿色工艺。它通过在固体砂料(硅和碳化硅)中加入氟化铵或氟化氢铵或氟化氢等溶液,使其与硅进行部分反应,自身产生气体,形成气泡,硅粉吸附于气泡表面,随即被气泡自动带到液面上,达到硅和碳化硅分离的目的,同时分离液经过滤后回收后可以返回重复使用。本发明分离回收方法快速有效、能耗低、成本低、溶剂回收简单、产品硅和碳化硅的纯度高、整个分离过程符合清洁环保的绿色生产要求,具有明显的经济效益和社会效益。
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