本发明提供碳化硅和聚乙二醇切割液的回收方法,将硅片切割废砂浆与水混合后进行第一级固液分离,将第一级固体颗粒经水稀释后进行第二级固液分离,将第二级悬浮液回用于上述混合,将第二级固体颗粒经第一级水洗后进行第三级离心分离,将第三级离心液回用于上述稀释,将第三级离心固体颗粒经第二级水洗后进行第四级离心分离,将第四级离心液回用于第一级水洗,将第四级离心固体颗粒经干燥、筛选后得到碳化硅;将第一级悬浮液进行过滤、脱色和树脂交换后,依次进行减压蒸馏和薄膜蒸发,得到聚乙二醇切割液、减压蒸馏水和薄膜蒸发水,所述减压蒸馏水用于第二级水洗,所述薄膜蒸发水用于第一级水洗。该回收方法显著降低污水的污染程度,利于环保。
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