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新型单晶硅切割废砂浆再利用生产工艺

682   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:41:32
本发明公开了一种新型单晶硅切割废砂浆再利用生产工艺，在回收废砂浆中硅片切割液的同时，也对其中的碳化硅微粉和单晶硅固体进行了回收利用，回收率高。回收的硅片切割液具有与新切割液相同的表面活性、悬浮力和携带力，该生产工艺流程简便，建设运行成本较低，管理简单，能有效回收处理单晶硅切割废砂浆。
声明：
“新型单晶硅切割废砂浆再利用生产工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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