本实用新型提供了一种氯
硅烷废液的净化回收装置。该净化回收装置包括:过滤单元,包括一个或多个并联设置的过滤器,各过滤器设置有氯硅烷废液入口,氯硅烷废液通过各过滤器后得到固体渣和过滤液,且过滤器的底部设置有固体渣出口,过滤器的顶部设置有过滤液出口;提纯塔,提纯塔的入口与过滤液出口相连通,过滤液通过提纯塔后得到氯硅烷液体和提纯后残余液,提纯塔的底部设置有提纯后残余液出口,提纯塔的顶部设置有氯硅烷液体出口,提纯后残余液出口与氯硅烷废液入口相连通。整个系统操作、运行可靠,氯硅烷回收率高,纯度高,而且在节能降耗、环保方面有显著的效果。
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