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集成电路行业含氟废液资源化利用的方法

918   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 04:39:39
本申请涉及工业废水处理和资源回收利用技术领域,具体公开了一种集成电路行业含氟废液资源化利用的方法,包括:测定含氟废液中SiF62‑、F‑和SO42‑的浓度;向含氟废液中加入氢氧化钠的水溶液进行一次中和反应,得一次处理废液和氟硅酸钠;向一次处理废液中加入氢氧化钠进行二次中和反应,得二次处理废液和氟化钠;二次处理废液经过蒸发浓缩析出含有氟化钠的沉淀物,得含有氟化钠的沉淀物和三次处理废液;向三次处理废液中加入硝酸钙,得固体废料和四次处理废液;四次处理废液经过结晶得五次处理废液和硝酸钠。本申请将含氟废液的有效成分转化为可回收利用资源,解决含氟废液对环境的污染问题,且处理成本低,资源化产品价值高。
声明:
“集成电路行业含氟废液资源化利用的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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