本发明的研磨废浆中碳化硅的回收方法,包括以下步骤:(1)加入水将研磨废浆稀释;(2)分离研磨废桨中的固体及液体,该固体包括硅粉颗粒及碳化硅颗粒;(3)移除硅粉颗粒和液体,保留碳化硅颗粒;(4)将该碳化硅颗粒加入至碱性溶液中浸泡;以及(5)加入酸性溶液去除残留的碱性溶液得到纯化后的碳化硅。本发明可有效回收研磨废浆中的碳化硅,从而将其循环利用,防止环境污染。
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