本发明涉及一种金刚线切割硅片废切割浆液中硅料的回收方法。其包括如下步骤:对金刚线切割硅片废切割浆液进行固液分离,并保留液体,得到硅粉悬浮液;对硅粉悬浮液进行浓缩处理,得到浓缩后的硅粉悬浮液;对浓缩后的硅粉悬浮液进行固液分离,并保留固体,得到硅砂;对硅砂进行压制,得到硅压制体硅压制体;以及将压制体硅压制体与硅铸锭工艺中温度大于1400℃的硅包混合,进行冶炼之后得到工业硅。上述金刚线切割硅片废切割浆液中硅料的回收方法中,以金刚线切割硅片废切割浆液中的硅料作为原料,通过一系列处理过程得到工业硅,实现了废切割浆液中硅料的资源化利用,避免了资源的浪费。
声明:
“金刚线切割硅片废切割浆液中硅料的回收方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)