本发明涉及一种铜蚀刻废液的处理方法,包括:将铜蚀刻废液在负载有催化剂的固体填料的作用下分解,得到第一废液及第一废气;调节第一废液的pH至8~10得到第二废液;将第二废液蒸馏得到馏出液和浓缩液;将馏出液生化处理得到净化液和第二废气;将浓缩液焚烧处理得到第三废气;及将第一废气、第二废气与第三废气用废气处理设备处理。上述铜蚀刻废液的处理方法能够有效控制铜蚀刻废液中过氧化氢的分解速度,提高过氧化氢分解的安全性,且处理过程中无臭气排出,不会污染环境。
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