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废气处理装置和半导体加工设备

1090   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:30:57
本实用新型提供了一种废气处理装置和半导体加工设备，一方面能够利用电浆反应器将工业废气转化为固体生成物，并进一步通过固体生成物收集器收集重量较大的固体生成物，另一方面还能够通过增设的静电除尘器来捕获重量较轻且带电的固体生成物，从而避免细小粉尘进入到残气排放器的排气管道中，可以防止排放残余气体的排气管道及其连接的真空抽气泵堵塞，进而有效避免产品缺陷以及异常报废的风险。
声明：
“废气处理装置和半导体加工设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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