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硅片切割废砂浆分离提纯方法

1073   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:30:55
本发明公开了一种硅片切割废砂浆分离提纯方法,包括以下步骤:一、废砂浆固液分离,获得固体分离物和混合液一;二、PEG分离及回收:对混合液一依次进行三级过滤、树脂处理和真空蒸馏后,获得PEG成品;三、晶体硅粉分离及回收:对固体分离物进行多次沉降分选及固液分离后,再对所获得固体过滤物进行酸洗、过滤、脱水及烘干处理,获得晶体硅粉;四、SiC微粉分离及回收:经多次沉降分选及固液分离处理后的沉淀层依次进行碱洗、固液分离及水洗、酸洗和固液分离、水洗及干燥处理,获得SiC微粉。本发明设计合理、方法步骤简单、操作简便、效率高且投入及运行成本低、易于规模化生产,所分离提纯的PEG、晶体硅粉和SiC微粉的品质优良。
声明：
“硅片切割废砂浆分离提纯方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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