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硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法

1017   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:30:00
本发明公开了一种硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法，包括如下步骤：取硅片切削废液过滤，酸洗滤饼得到废料；将废料加入水中，升温，搅拌保温，加浮选溶液，搅拌，静置，取上层溶液纯化干燥得到碳化硅；取下层固体纯化干燥得到硅；其中，浮选溶液的原料包括：煤油、十二烷基胺醋酸盐、十八烯酸钠、松节油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纤维素钠、乙二酸、质量分数为30?36wt％盐酸水溶液、水。本发明操作简单，能耗低，回收得到的碳化硅和硅的纯度高。
声明：
“硅片切削废液中碳化硅和硅的回收方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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