本发明公开了一种从ITO靶材磨削废液中回收ITO粉末的方法,ITO靶材磨削后经磨削液冲洗产生磨削废液收集,磨削废液中包含ITO粉末和磨削轮杂质粉末,磨削轮杂质粉末是无机物粉末;磨削废液收集后经一次过滤和二次分离,得到的混合粉末固体除油进行比重分离得到ITO粉末固体和杂质固体分开,ITO粉末固体水洗后干燥得到ITO粉末。本发明具有从磨削废液中回收ITO粉末,磨削废液采用二次分离的方法,使固液分离机负担小,能耗降低,同时降低固液分离机的损耗,延长使用寿命的优点。
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