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对硅片切削废液的回收方法

932   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:29:58
本发明公开了一种对硅片切削废液的回收方法,包括以下步骤:(1)对硅片切削废液进行固液分离,在分离后的液相中,首先加入酸反应后,加入氨水调节pH值至7～8,加入活性炭脱色,然后经过滤除杂,滤液进行减压蒸馏,得到聚乙二醇。(2)对所述切削废液固液分离所得的固相先进行6～9次水洗,所得水洗液首先调节pH值至4～6后过滤,过滤所得固体物料经减压干燥得到硅粉。(3)对步骤(2)中水洗后的固相分别经碱洗和酸洗,所述碱洗在温度为70～80℃时进行,然后经过滤烘干,得到碳化硅微粉。(4)将步骤(2)所得滤液和步骤(3)中所得的洗液和滤液混合后,调节pH值至4～6后过滤,所得滤液作为生产用水循环利用。
声明：
“对硅片切削废液的回收方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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