合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 环境保护技术

> 固/危废处置技术

> 燃烧水洗式半导体废气处理装置

燃烧水洗式半导体废气处理装置

825   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:29:58
本发明公开了一种燃烧水洗式半导体废气处理装置，包括：燃烧冷却单元、储液槽及填料洗涤塔；所述燃烧冷却单元用于处理废气，使得废气高温氧化分解产生酸性气体和中性气体；所述储液槽用于吸收部分酸性气体，并排出废气中的固体颗粒；所述填料洗涤塔用于吸收剩余的酸性气体，并排出中性气体；本发明利用甲烷及空气燃烧产生的高温燃烧使废气在高温条件下氧化分解，产生的水溶性高温酸性气体通过冷却塔冷却后，部分酸性气体进入到储液槽进行碱洗中和吸收，同时使废气中夹杂的固体颗粒在储液槽中沉降；剩余的酸性气体进入填料洗涤塔吸收完全，最终使CVD设备产生的废气去除率达到95％以上，基本满足排放到工厂排气管道的要求。
声明：
“燃烧水洗式半导体废气处理装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
固废
上一个：在活化污泥废水处理工艺中改善污泥的去除并保持排放质量的方法
下一个：餐厨废弃油脂收集装置以及收集车

与 “燃烧水洗式半导体废气处理装置” 相关技术

▪ 南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪ 上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪ 大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪ 中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪ 西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪ 转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪ 重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪ 将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪ 有色金属压延加工技术
▪ 铜冶炼渣的选矿技术和难点

相关固/危废处置设备推荐

美标锻钢丝扣球阀
仓顶除尘器
脉冲布袋除尘器
浮筒式混合潜水搅拌机
X射线诊断计量仪
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪南科大《AEM》：双位点锚定实现垂直分子取向，提升全钙钛矿叠层太阳能电池效率
▪上科大《Nature》：重大突破！魔角石墨烯超导机理研究
▪大连理工2篇《Acta Materialia》！高性能合金领域取得新突破
▪中国科大《Nature》子刊：实现高密度高可靠性金刚石光学信息存储！
▪西安交大Adv.Mater.：77K下复杂浓缩合金创纪录的高强度和韧性
▪转化钠离子电池层状氧化物残碱为补钠剂同时稳定其晶格的富钠浆料添加剂
▪重庆科技大学CEJ| Ni，Fe激活惰性铜基电催化剂用于高效双功能水分解制氢
▪将任何铝废料转化为高纯度铝的新工艺
▪有色金属压延加工技术
▪铜冶炼渣的选矿技术和难点

报名参会
更多+

2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025工业废水处理与资源化利用交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日

报告下载

1 废光伏组件拆解回收与稀贵金属回
下载:155
2 退役动力电池资源化回收关键技术
下载:120
3 基于热还原法选择性回收废旧锂离
下载:116
4 复杂铜基多金属固废绿色协同冶炼
下载:114
5 废旧锂电全组分回收与利用
下载:112
6 工业石膏资源化综合利用新技术开
下载:111
7 多固废协同促进尾矿跨区域大规模
下载:103
8 涉重危废资源化利用理论体系构建
下载:102
9 稀土固废多组分协同提取与再生技
下载:99
10 废旧磷酸铁锂电池梯次利用进展
下载:98
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1铝灰处理方法
2锂渣固废资源化回收工艺
3矿石分级土壤处理装置
4钽铌湿法冶金废水处理方法
5铜矿选矿尾渣废物利用方法
6铅锌矿选矿废水处理装置
7利用微波辅助降解选矿废水中氰离子的方法
8选矿废水深度处理回用装置
9含镍铁渣固废的无害化处理方法
10钢铁烧结烟气中二氧化碳捕集的系统及方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记