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用超滤和离子交换处理浆料铜废水

1012   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:29:57
一种用于处理来自铜CMP工艺的废物流的方法，所述废物流包括溶解的铜和具有小于0.75μm的数加权平均尺寸的磨料颗粒，所述方法包括将废物流引入到进料罐中；使所述废物流从所述进料罐流入到超滤模块中；使废物流过滤穿过超滤模块的膜以形成贫固体滤液；引导来自超滤模块的贫固体滤液穿过离子交换单元以去除溶解的铜并产生经处理的水溶液，所述经处理的水溶液具有比废物流的铜浓度低的铜浓度；反洗膜超滤模块以从超滤模块的膜上去除浆料固体；以及将去除的浆料固体与经处理的水溶液组合以形成具有适合于排放到环境中的铜浓度的组合的排放流。
声明：
“用超滤和离子交换处理浆料铜废水” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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