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硅片切割方法及切割废料回收方法

804   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:28:04
本发明涉及切割机械技术领域，尤其涉及一种硅片切割方法及切割废料的回收。硅片切割方法，利用线切割设备的钢丝在惰性气体环境下对硅锭进行切割，切割成硅片。硅片切割废料回收方法，采用上述硅片切割方法切割硅锭后，会产生废料，废料的回收包括如下步骤：1)采用固液分离的方式从废料中分离出聚乙二醇和固体混合物。2)对固体混合物进行清洗。3)采用萃取分离的方式将固体混合物进行初步的分离，分离出硅和碳化硅。4)将分离出的硅进行浮选，浮选出硅和碳化硅。由于采用上述技术方案，本发明能对硅片切割后的废料进行回收利用，降低了硅片切割的成本，并解决了切割废料的污染，环保节能。
声明：
“硅片切割方法及切割废料回收方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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