一种无污水和固体废物排放的晶体硅加工废砂浆综合处理技术,在回收废砂浆切割液PEG之前,首先磁选回收废砂浆中的Fe粉,干燥后作为
粉末冶金的原料;除铁后的三元废砂浆压滤,得到含SiC、Si的为主的滤饼和含切割液PEG为主的滤液;滤液经过精制处理得到合格的切割液PEG;滤饼在干燥脱水后,利用其中残余的3~~5的PEG压制成陶瓷毛坯,在氮化炉中氮化烧结成氮化硅结合碳化硅陶瓷材料;滤饼干燥后的含SiC、Si的二元砂通过碳化或氮化处理,使其中的Si粉转化成纳米SiC或纳米Si3N4;洗涤分离SiC、Si的二元砂反应产物,分别得到微米级SiC和纳米SiC或纳米Si3N4;整个生产过程无工艺废水和固体废弃物排放。
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