本实用新型涉及一种废蚀刻液的循环再生技术,尤其涉及一种废蚀刻液循环再生及铜的回收处理系统,蚀刻机产生的废蚀刻液和氨水洗板废液经系统中的蚀刻废液入口分别进入一级萃取缸和二级萃取缸,萃取剂循环缸内的萃取剂经萃取剂入口进入一级萃取缸和二级萃取缸,萃取剂将废蚀刻液中的铜离子萃取分离出来,废蚀刻液成为再生蚀刻液和氨水洗液,再经再生液出口进入蚀刻液再生系统分别进行成分调配后,进入蚀刻工序和氨水洗板工序。系统在整个处理过程中物料实现闭路循环,没有废水废气排出,能高效回收铜、再生蚀刻液和氨水洗液,大大减少蚀刻工序的污水排放量,降低环保压力,且三个循环系统可同时连续工作,降低了处理运行成本。
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