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可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置

673   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 03:43:24
本发明公开了一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置,其结构包括主机体、排气设备、冲洗设备、电动杆、传动装置、排水管、加工仓,所述主机体的顶部设有排气设备,所述排气设备通过螺栓和主机体固定连接,所述主机体的左部设有冲洗设备,所述冲洗设备通过连接管与加工仓连接,所述加工仓通过焊接固定在主机体的内部,所述加工仓的底部设有排水管,所述排水管上设有阀门,所述加工仓通过排水管连接至废水管,可以有效的控制设备的刻蚀时间,防止刻蚀时间或者刻蚀浓度的差异导致的良品率不稳定的问题,提高了设备的工作的稳定性和可靠性,提高了设备的经济效益。
声明:
“可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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