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可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置

602   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:43:24
本发明公开了一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，其结构包括主机体、排气设备、冲洗设备、电动杆、传动装置、排水管、加工仓，所述主机体的顶部设有排气设备，所述排气设备通过螺栓和主机体固定连接，所述主机体的左部设有冲洗设备，所述冲洗设备通过连接管与加工仓连接，所述加工仓通过焊接固定在主机体的内部，所述加工仓的底部设有排水管，所述排水管上设有阀门，所述加工仓通过排水管连接至废水管，可以有效的控制设备的刻蚀时间，防止刻蚀时间或者刻蚀浓度的差异导致的良品率不稳定的问题，提高了设备的工作的稳定性和可靠性，提高了设备的经济效益。
声明：
“可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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