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通过重复利用无氮黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法

917   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:43:21
本发明公开了一种通过重复利用无氮黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法，包括：(1)将硅片浸入含有铜盐、氢氟酸和双氧水的黑硅制绒液中进行制绒；(2)用去离子水清洗制绒后的硅片，吹干；(3)采用包含选自氢氟酸、盐酸、硫酸和醋酸中的一种或多种酸以及双氧水的无氮黑硅清洗液清洗吹干后的硅片；(4)用去离子水清洗无氮黑硅清洗液清洗后的硅片，吹干，制得具有绒面结构的硅片；和(5)重复步骤(1)至(4)，直至无氮黑硅清洗液达到使用寿命，以达到使用寿命的无氮黑硅清洗液为原料配制所述黑硅制绒液。本发明方法可以简单、有效地实现无氮黑硅清洗液特别是其中的金属离子的重复利用，降低了制绒成本和废水处理成本，绿色环保。
声明：
“通过重复利用无氮黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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