非链式DF/HF激光器放电生成物小型化干法处理装置,属于激光器放电生成物处理技术领域。解决了现有激光器尾气处理装置结构大、吸附剂装卸复杂且相互影响、不便存储运输、污染环境的问题。该装置包括金属壳及一个以上的密封的净化单元,每个净化单元包括进气管、排气管及由从下至上依次排列的第一过渡仓室、第一仓室、第二仓室、第三仓室和第二过渡仓室组成的吸附剂仓室;金属壳上设有分别与第一仓室、第二仓室、第三仓室贯通的填料口,通过填料口分别装填和卸载第一仓室、第二仓室、第三仓室中的吸附剂;填料口上设有用于密封填料口的密封盖。该装置具有生成物处理彻底,设备体积小、重量轻,易于操作,方便维护,没有二次污染废水等优点。
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