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通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法

799   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:35:11
本发明公开了一种通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法，包括：(1)将硅片浸入包含0.01‑200mmol/L的金属离子盐、1‑10mol/L的氢氟酸和0.1‑10mol/L的黑硅制绒液中进行制绒；(2)用去离子水清洗制绒后的硅片，吹干；(3)采用20‑80wt％的硝酸溶液清洗步骤(2)中得到的吹干后的硅片以去除沉积在硅片表面上的金属颗粒；(4)用去离子水清洗黑硅清洗液清洗后的硅片，吹干，制得具有绒面结构的硅片；和(5)重复步骤(1)至(4)，直至黑硅清洗液达到使用寿命，以达到使用寿命的黑硅清洗液为原料配制黑硅制绒液。本发明方法可以简单、有效地实现黑硅清洗液特别是其中的金属离子的重复利用，降低了制绒成本和废水处理成本，绿色环保。
声明：
“通过重复利用黑硅清洗液对硅片进行制绒的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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