一种微蚀刻液的再生循环装置,包括与微蚀刻生产线连通的蚀刻废液槽以及,用于输送再生蚀刻液至微蚀刻生产线的再生调配槽;所述蚀刻废液槽与电解槽连通,所述电解槽与所述再生调配槽连通。该微蚀刻液的再生循环装置采用直接电解的生产工艺,将微蚀刻废液直接加入到电解槽中进行电解,将废液中的铜离子分离出来,经过电沉积后形成高纯电解铜板;降低铜离子浓度的电解液经调整参数后返回微蚀刻生产线使用,实现微蚀刻废液的循环再生。该设备为全自动封闭及环保型系统,无废水、废气及其他废物排放。
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