合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 环境保护技术

> 废水处理技术

> 干法清洗多晶硅还原炉的方法

干法清洗多晶硅还原炉的方法

946   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:33:17
本发明提供了一种干法清洗多晶硅还原炉的方法，将多晶硅还原炉与等离子体发生器相连，使等离子体发生器产生的等离子体在设定的温度和压强条件下与多晶硅还原炉钟罩内壁沉积的硅薄膜反应，同时实时监测反应产物的成分变化，并通过吹扫抽离反应产生的气体产物，达到清洗多晶硅还原炉的目的。本发明提供的方法克服了现有技术的不足，大大简化了清洗工艺流程，实现全自动化操作，大幅降低了多晶硅还原工艺整体设备投入和建设周期与成本，同时能够完全避免废酸、废碱、废水和废气等的排放，起到节能和环保的作用。
声明：
“干法清洗多晶硅还原炉的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
废水处理
上一个：PCB厂电镀铜线夹具硝酸退镀废液的再生方法及成套设备
下一个：空心微珠及其制备方法

与 “干法清洗多晶硅还原炉的方法” 相关技术

▪ 移动式混汞提金设备固液分离装置
▪ 石墨选矿用烘干装置
▪ 保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪ 电加热回转烘干装置
▪ 环保工程污水处理超滤膜技术
▪ 强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪ 利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪ 钽铌冶炼废水的处理方法
▪ 利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪ 镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

相关废水处理设备推荐

呼吸系统真空泵尾气排放的处理
大型车间废气等离子净化设备
凯思特-ic厌氧反应器
涡轮型气动振动器
低压长袋脉冲袋式除尘器
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪移动式混汞提金设备固液分离装置
▪石墨选矿用烘干装置
▪保护大鳞片并有效精细分级的石墨选矿系统
▪电加热回转烘干装置
▪环保工程污水处理超滤膜技术
▪强酸高磷含镍废水除磷除镍处理方法
▪利用锂云母冶炼渣吸附水体中铅离子的方法
▪钽铌冶炼废水的处理方法
▪利用碳化硅废渣冶炼富锰渣的混合搅拌装置
▪镍钴冶炼废硫酸浓缩脱氟氯工艺及系统

报名参会
更多+

第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
第二届全国硫磷钛资源与新能源协同创新发展论坛
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025全国三稀矿产资源技术交流会
2025年01月03日 ~ 05日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 废光伏组件拆解回收与稀贵金属回
下载:155
2 退役动力电池资源化回收关键技术
下载:118
3 基于热还原法选择性回收废旧锂离
下载:116
4 复杂铜基多金属固废绿色协同冶炼
下载:114
5 工业石膏资源化综合利用新技术开
下载:111
6 废旧锂电全组分回收与利用
下载:111
7 多固废协同促进尾矿跨区域大规模
下载:103
8 涉重危废资源化利用理论体系构建
下载:102
9 稀土固废多组分协同提取与再生技
下载:99
10 废旧磷酸铁锂电池梯次利用进展
下载:97
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1铝灰处理方法
2锂渣固废资源化回收工艺
3矿石分级土壤处理装置
4钽铌湿法冶金废水处理方法
5铜矿选矿尾渣废物利用方法
6铅锌矿选矿废水处理装置
7利用微波辅助降解选矿废水中氰离子的方法
8选矿废水深度处理回用装置
9含镍铁渣固废的无害化处理方法
10钢铁烧结烟气中二氧化碳捕集的系统及方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记