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FeCoNiMn高熵合金薄膜、其制备方法及应用

811   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 03:32:41
本发明公开了一种FeCoNiMn高熵合金薄膜、其制备方法及应用,该高熵合金薄膜,按质量百分比包含以下组分:Fe:23.1%~36.8%,Co:16.9%~48.9%,Ni:7.4%~20.4%,Mn:7.6%~38.9%。该制备方法为,采用射频磁控溅射法,将靶材原材料拼接成溅射靶材,至少以一种保护气体为工作气体,在基体表面溅射沉积FeCoNiMn高熵合金薄膜。本发明通过射频磁控溅射工艺制备了非晶的FeCoNiMn高熵合金薄膜电极材料,薄膜与基底结合良好,具有较高的催化活性,可以在60min内电化学催化降解97%的有机物,为高熵合金薄膜在电催化降解有机物废水方面的应用奠定基础。
声明:
“FeCoNiMn高熵合金薄膜、其制备方法及应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
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