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FeCoNiMn高熵合金薄膜、其制备方法及应用

743   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:32:41
本发明公开了一种FeCoNiMn高熵合金薄膜、其制备方法及应用，该高熵合金薄膜，按质量百分比包含以下组分：Fe:23.1％～36.8％，Co:16.9％～48.9％，Ni:7.4％～20.4％，Mn:7.6％～38.9％。该制备方法为，采用射频磁控溅射法，将靶材原材料拼接成溅射靶材，至少以一种保护气体为工作气体，在基体表面溅射沉积FeCoNiMn高熵合金薄膜。本发明通过射频磁控溅射工艺制备了非晶的FeCoNiMn高熵合金薄膜电极材料，薄膜与基底结合良好，具有较高的催化活性，可以在60min内电化学催化降解97％的有机物，为高熵合金薄膜在电催化降解有机物废水方面的应用奠定基础。
声明：
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