本发明公开了一种氯
硅烷残液生产HCl气体的方法,属于
多晶硅行业氯硅烷残液资源化的领域。本发明采用搅拌反应釜和吸收塔连用的方式,氯硅烷残液在搅拌反应釜中水解,残液水解产生的H2、HCl气体和未反应完全的SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2挥发气,经过吸收塔充分吸收后,99%以上的氯以氯化氢的形式被吸收下来,尾气碱洗后达标排放,吸收塔吸收液进入搅拌反应釜作为残液水解反应吸收剂,浓盐酸经解析产生的HCl气体可回到三氯氢硅的合成工序,解析后的稀盐酸又作为本发明系统的吸收剂,实现了氯的资源循环利用。本发明实现了氯硅烷残液中氯的有效回收和资源化利用,减少进入后续
污水处理装置的氯离子的量,降低工厂废水处理成本。
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