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氯硅烷残液生产HCl气体的方法

981   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 03:31:20
本发明公开了一种氯硅烷残液生产HCl气体的方法,属于多晶硅行业氯硅烷残液资源化的领域。本发明采用搅拌反应釜和吸收塔连用的方式,氯硅烷残液在搅拌反应釜中水解,残液水解产生的H2、HCl气体和未反应完全的SiCl4、SiHCl3、SiH2Cl2挥发气,经过吸收塔充分吸收后,99%以上的氯以氯化氢的形式被吸收下来,尾气碱洗后达标排放,吸收塔吸收液进入搅拌反应釜作为残液水解反应吸收剂,浓盐酸经解析产生的HCl气体可回到三氯氢硅的合成工序,解析后的稀盐酸又作为本发明系统的吸收剂,实现了氯的资源循环利用。本发明实现了氯硅烷残液中氯的有效回收和资源化利用,减少进入后续污水处理装置的氯离子的量,降低工厂废水处理成本。
声明:
“氯硅烷残液生产HCl气体的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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