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金刚线切割晶体硅生产线的用水方法及用水系统

916   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 03:31:18
本发明涉及一种金刚线切割晶体硅生产线的用水方法，所述金刚线切割晶体硅生产线携带的n台线切机中，有i台线切机的储水罐使用纯水配制循环液；所述金刚线切割晶体硅生产线携带的n台线切机中，有j台线切机的储水罐使用水回收系统的生产用水配制循环液；所述水回收系统造成x％的水量损失；所述i+j＝n；且x％‑5％≤i/n×100％≤x％+5％。本发明通过在n台线切机中选取i台线切机使用纯水调配循环液，作为切割的标准硅片，时时比较使用废水回收的生产用水的j台线切机的切割硅片是否合格，克服了现有技术由于COD检测时间比较长，导致的取样点与生产线切割用水不一致导致的切割硅片不合格的问题。 1
声明：
“金刚线切割晶体硅生产线的用水方法及用水系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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